影响扩散泵运用性能的主要因素
发布时间：2016年04月21日 09:23 阅读：4195
返回 来源：
泽德
扩散泵油和加热功率都是影响扩散泵性能的重要因素。
1.扩散泵油
优良的扩散泵油应具备下述性能：室温下的饱和蒸气压强低，以提高泵的极限真空度；在加热工作的温度下具有高的饱和蒸气压，以得到高浓度的蒸气；热稳定性、化学稳定性及抗氧化性好；表面张力大，以减少爬迁；闪点和着火点高；价格低廉。
扩散泵油主要有两类：混合物油和单质油。常用的混合物油多是石油烃类，是分馏正油产品得到的。这类油制造容易、价格低廉，但饱和蒸气压较高，热稳定性、抗氧化性辐差，在工作过程中常裂解出轻的气体成分，如H2及各种碳氢化合物，从而影响扩散泵的极限真空。
单质油有硅油及全氟聚醚等。硅油即有机硅树脂，由人工合成，它具有低的饱和蒸气压、良好的抗氧化性及高温稳定性，甚至在大气压下短时间加热到250℃仍不会裂解，并可逐渐恢复性能，继续使用。全氟聚醚(又名福布林)的分子相对质量很大，化学稳定性、抗氧化性好，耐辐射、耐UF6腐蚀，在带电粒子轰击下仅产生气态移质而不形成聚合物，故可被抽走，特别适用于粒子加速器、电子显微镜、质谱计等真空系统。
2.加热功率
扩散泵的运用性能与加热功率的关系。每一项指标都有一个最佳的加热功率值；且对于不同的气体和工作液，这个数值是不同的。
在抽速方面，如果加热功率小于最佳数值，则蒸气流密度和速度不够大，抽速小；如果加热功率超过最佳值，蒸气流边层的湍流加重，同时油蒸气分子分解形成的无规则运动严重化，也使抽速下降。对于质量较小的气体，需要较大的蒸气流密度防止反扩散，故抽速峰值移向较大功率处。
在极限压强方面，当加热功率过大时，油蒸气分子热分解，极限压强上升，故有一个最佳加热功率值。
临界前置压强与最大排气率完全取决于定向蒸气流的密度和速度，所以它们随加热功率单调上升。
显然，对不同的气体和工作液，扩散泵的加热功率不同。因此，扩散泵的加热功率在调试好后不应随意改变。
返回顶部 | 返回列表
关注泽德微信
关注泽德微博